高純氫氣發生器是通過一系列電解反應來產生氫氣的過程，通常情況下，各個部件都會進行相應的反應，電解分離，儲存，然后根據壓力調節器來決定是否要釋放氫燃料電池，而氫氣發生器在很多場合都是用來充電的。高純氫氣發生器主要采用以下兩種工藝：
一、純水解制氫技術
將符合要求的電解水（電阻率大于1MΩ/cm，用于電子或分析行業的去離子水或二次蒸餾水）送入電解槽的陽極室中，水立刻在陽極分解：2H2O=4H++2O-2，生成負氧離子O-2，陽極釋放電子，形成氧（O2）。氫質子在電場力的作用下，以水合離子（H+•XH2O）形式通過SPE離子膜，到達陰極吸收電子，形成氫氣，再由陰極室排出，進入氣-水分離器，除去電解槽中的大部分水份。
二、電解法堿液制氫
這種工作原理類似于傳統的隔膜堿液電解法。電解槽的導電介質是氫氧化鉀水溶液，兩極室的隔板是用于航天電解設備的隔膜，由耐腐蝕、傳質良好的柵格電極和端板合在一起構成電解槽。把直流電加到兩極后，水分子立刻在電解槽的兩極發生電化學反應，陽極產生氧，陰極產生氫。反應式如下：陽極：2OH--2e→H2O+1/2O↑陰極：2H2O+2e→2OH-+H2↑總反應式：2H2O→2H2↑+O2↑本儀器對壓控、過壓保護、流量顯示、流量跟蹤等均實行自動控制；根據氣相色譜儀所用的氫氣量，使輸出氫能在恒壓下自動調節（在產氣量范圍內）。
